等離子清洗機

等離子清洗機(plasma cleaner)也叫等離子表面處理儀，是一種全新的高科技技術(shù)，利用等離子體來(lái)達到常規清洗方法無(wú)法達到的效果。通過(guò)利用這些活性組分的性質(zhì)來(lái)處理樣品表面，從而實(shí)現清潔、涂覆等目的。

等離子電源頻率一般有三種：40kHz及以下，13.56MHz，2.45GHz

40kHz及以下為中頻電源，中頻等離子體發(fā)生的反應為物理反應。中頻等離子體（物理）清洗工藝是在反應腔體中加入氬氣作為輔助處理的等離子體清洗；氬氣本身是惰性氣體，等離子體的氬氣不和表面發(fā)生反應，而是通過(guò)離子轟擊使表面清潔。以物理反應為主的等離子體清洗，也叫做濺射腐蝕（SPE）或離子銑（IM），其優(yōu)點(diǎn)在于本身不發(fā)生化學(xué)反應，清潔表面不會(huì )留下任何的氧化物，可以保持被清洗物的化學(xué)純凈性。中頻等離子清洗機加入適當的反應氣體，可以有效去除膠質(zhì)或有機物殘渣、做刻蝕等等。

13.56MHz為射頻電源，射頻等離子體發(fā)生的反應既有物理反應又有化學(xué)反應。射頻等離子體清洗是表面反應機制中物理反應和化學(xué)反應都起重要作用，即反應離子腐蝕或反應離子束腐蝕，兩種清洗可以互相促進(jìn)，離子轟擊使被清洗表面產(chǎn)生損傷削弱其化學(xué)鍵或者形成原子態(tài)，容易吸收反應劑，離子碰撞使被清洗物加熱，使之更容易產(chǎn)生反應。所以很適合用來(lái)處理一些嬌嫩的材料。

為進(jìn)一步滿(mǎn)足客戶(hù)的實(shí)驗工藝需求，雷博科儀特推出型號為PT500/PT1000/PT3000實(shí)驗型等離子清洗機。

PT500等離子清洗機

PT1000等離子清洗機

PT3000等離子清洗機

雷博科儀等離子清洗機具有如下特點(diǎn)：

1. 體積小巧處理4寸及以下樣品、一鍵式操作，適用于科研院所等各種實(shí)驗環(huán)境

2. 高效清洗，快速達成需要的表面處理工藝；

3. 13.56Mhz低溫等離子體，能量低、密度高，適合處理特殊材料

4. 可用于表面改性、去膠工藝、鍵合工藝等

PT系列產(chǎn)品自推出以來(lái)，得到了諸多科研院所客戶(hù)朋友的認可，經(jīng)過(guò)一段時(shí)間的老師使用反饋，我們收集了部分課題組反饋的使用報告。

新加坡國立大學(xué)課題組使用情況：

在疊層電池的制備過(guò)程中，使用“雷博科儀”的plasma清洗機（PT500型號）對器件的功能層進(jìn)行表面改性處理，具體操作為：將樣品放置于plasma清洗機的腔室中，關(guān)好腔室門(mén)，設置好相關(guān)參數，然后點(diǎn)擊運行。

對于單節電池，使用plasma清洗機對ITO玻璃表面進(jìn)行處理，可顯著(zhù)改善ITO表面的親水性；

功率和氣流量可調，該等離子清洗機清洗效果能很好滿(mǎn)足需求使用；

對于單節電池，plasma處理的ITO玻璃可以獲得和UV-ozone相當的電池效率；

對于疊層電池中，在使用plasma清洗機處理功能層后，器件效率提升0.6%。

紫外臭氧清洗機

紫外光表面清洗技術(shù)在國際上是隨著(zhù)光電子信息產(chǎn)業(yè)的發(fā)展而提出來(lái)的。

2023年3月29日，四川大學(xué)趙德威教授和陳聰特聘副研究員、廈門(mén)大學(xué)唐衛華教授、瑞士聯(lián)邦材料科學(xué)與技術(shù)研究所付帆博士等人在《Nature》發(fā)表題為“All-perovskite tandem 1 cm2 cells with improved interface quality”的研究論文，該研究表明全鈣鈦礦串聯(lián)的1平方厘米的電池，其界面質(zhì)量得到改善。

四川大學(xué)趙德威教授及廈門(mén)大學(xué)唐衛華教授目前均在使用江蘇雷博科學(xué)儀器有限公司生產(chǎn)的UC100-SE紫外臭氧清洗機。

UC100-SE紫外臭氧清洗機

UC200-SE紫外臭氧清洗機